在半导体产品的制造过程中，所需要的真空系统需要具有去除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等这些功能。因此，油封机械泵不能满足半导体行业的需要。在半导体行业的驱动下，干式真空泵出现于20世纪80年代。由于目前下游集成电路、光伏、LED等这些行业的可持续发展和进步，干式真空泵的产品类型也不断增加，性能、控制集成度等指标参数也有比较明显的提高。截至目前，干式螺杆真空泵已用于发达国家的半导体相关行业。近年来，我国也出现了干式真空泵取代油泵的明显趋势。干式真空泵已基本用于国内半导体行业。

无油螺杆真空泵用在化工反应釜抽真空

干式螺杆真空泵工作时，无摩擦，运行平稳，噪音低，工作室无润滑油。因此，螺杆真空泵可以去除大量的水蒸气和少量的灰尘。由于螺杆形成了螺距结构，与等螺距结构相比，真空度上限更高，功耗更低，具有节能、免维护等优点。是油封真空泵的更新产品。

除了半导体行业之外，制药、化工、食品行业对真空泵的需求量也是比较大的，在过去的时候很多行业使用油封机械泵会产生油污染。近年来，国家高度重视环境保护，因为使用干式螺杆真空泵可以在工作中减少油污染，而且使用干式真空泵还可以实现溶解媒体的回收，提高利用率，因此制药、化工、食品等行业，用干式真空泵来取代原油封机械泵，这些行业对干式真空泵有大量新的需求。