因为空间模仿设备其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米，真空度改变从几万Pa 到几个Pa，并且被抽气体中含有很多的水蒸气或部分氮氧化物，所以这种真空体系首先遇到问题就是预抽真空问题，目前常用的是干式螺杆真空泵，假如选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题：

非耀无油螺杆真空泵

首先是滑阀泵在高进口压力下长时间运转，因为气流带着效果，其喷油现象非常严峻，一是糟蹋很多昂贵的油，二是污染环境。因为被抽气体中含有很多的水蒸气或氮氧化物，这些气体一旦进入泵内会使真空泵油敏捷乳化变质，油的密封性损坏，导致真空功能下降，乃至使泵毁坏。需求装备泵的数量多，并且滑阀泵的振荡、噪声也大。干式螺杆真空泵因为具有清洁无油、抽速大、振荡小、噪声低等长处，已成为大型空间模仿真空体系的优选产品。为了进步提高真空机组的抽速和真空度并相应的减小真空机组的尺寸，一般都是选用一台罗茨真空泵与螺杆真空泵串联构成的二级罗茨真空泵机组或二台罗茨真空泵与螺杆真空泵串联构成的三级罗茨真空泵机组。为避免颗粒杂质进入泵内，在真空机组进口均装备进口过滤器。

制药厂用无油螺杆真空泵机组

而使用干式螺杆真空泵冷凝体系，能够使干燥进程中的溶媒在排气侧冷凝，完成溶剂的收回，以及废水废液的零排放，因为非耀螺杆真空泵泵腔内无任何其他工艺介质，内部外表均采纳涂层的防腐办法，既节能又环保。所以非耀螺杆真空泵在其他行业上也深受欢迎。