真空泵其实有多种不一样的类型，选择不同的类型，也就会有不一样的作用，所以是应该要让自己能够先去了解了，这一点都是很有必要的一件事情。干式真空泵由于其优越的性能，目前已成为电子行业、半导体、制药、精加工等行业优选的真空采集设备。那么干式真空泵有哪几种类型呢？下面非耀真空泵厂家小编就来带大家了解一下。

非耀干式无油螺杆真空泵

一、双圆裂片式。双圆裂片式的多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一及都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种干式真空泵设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

二、三叶圆裂片式。三叶圆裂片式设计和上述形式设计的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。

三、组合式（罗茨+爪）。组合式（罗茨+爪）设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计相同。也有些厂家将这种干式真空泵其改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。

四、压缩型螺杆式。在压缩型干式螺杆真空泵设计中，使用一对等距螺杆。

螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩，同时使得气体通路简单。这样，气体在泵体内停留的时间也短。这种干式真空泵设计在复杂的半导体工艺中表现出的稳定性非常强。