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干式真空泵是指泵能在大气压下开始抽气，并能直接将抽出的气体排入大气的设备。泵腔内没有油或其他工作介质。然而，在设备的使用中，许多用户并不知道干式真空泵应用范围，对此，本文将详细介绍。
非耀干式无油螺杆真空泵
1、在低压化学气相沉积的多晶硅制备过程中，
2、半导体蚀刻工艺，在这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒；
3、对于除半导体工艺外的一些产生颗粒的工艺，不希望颗粒混入泵油中，而希望颗粒从泵中排出；
4、干式真空泵应用在化学工业、制药工业、食品工业、蒸馏、干燥、消泡、包装等方面。防止有.机溶剂造成的污染，适用于真空泵；
5.用作一般无油清洗真空系统的前级泵，防止油污染。
LGB70无油螺杆真空泵用在有机硅生产工艺
以上是干式真空泵应用范围的介绍，根据介绍，我们可以清楚地了解设备的使用和选择，从而更好地实现使用效率，避免对设备造成任何损坏。非耀是一家干式螺杆真空泵厂家，生产的干式真空泵型号齐全，提供干式真空泵选型服务，为用户分忧。
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