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液环式真空泵
今年螺杆泵优势火了,桂冠给半导体行业【非耀】
返回列表 来源: 发布日期: 2021.06.08

半导体行业的发展迅速,目前,中国有全球规模的,且增长迅速的集成电路消费市场,这也离不开中国消费市场和国家对产业政策扶持,国内集成电路制造企业也加大建厂投资,因此,凭借螺杆泵优势其设备又火了起来。

螺杆泵优势

螺杆泵优势是成为了半导体各制程中需要通用设备的关键,应用于单晶拉晶、测试等清洁或严苛制程。半导体产品制造过程中所需的真空系统,具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等功能,因此干式螺杆真空泵是非常好的选择。

干式真空泵应用于半导体行业的关键优势在于:解决了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险;不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境;它是完全干燥的,对上下游工艺没有任何污染;干式真空泵中不会发生任何腐蚀;效率更高,耗电更少;吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收。

螺杆泵优势

非耀螺杆真空泵还具有,真空度≤5Pa,抽气速度快百分之30,20000小时无故障运行,环保0烦恼。以上是非耀螺杆泵用于半导体行业的简单介绍,也了解了螺杆泵优势特点,如您需要了解更多,请联系非耀在线客服人员。

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