真空泵机组由小功率的水环真空泵和防汽蚀的罗茨真空泵串联组成，蒸汽和不凝结气体进入罗茨真空泵，加压后经冷却器冷凝进入下级水环真空泵。由于提高了水环真空泵的入口压力，可保证罗茨水环真空泵机组稳定运行，防止汽蚀的形成。

三级罗茨水环真空泵机组

罗茨水环真空泵机组中的水环真空泵，除了功率小、泵体小之外，其特性与普通水环真空泵一样。改造后机组正常运行时主要以真空泵机组维持真空，实现一运两备，设备之间有可靠的联锁控制系统，因此，改造后系统备用可靠性加大了百分之50。此外，罗茨真空泵结构决定其具有耐高真空的能力，由它做前置泵，可保证后置水环真空泵入口压力，克服了水环真空泵入口真空高时，泵体水汽化引起罗茨水环真空泵机组真空波动大的缺点，因此改造后机组真空系统的稳定可靠性得到大幅提升。

罗茨泵水环真空泵机组用在药厂精馏工艺

非耀真空泵厂家通过对发电站燃气蒸汽联合循环机组凝汽器水环式抽真空系统的改造，用小功率罗茨真空泵与水环真空泵机组成罗茨水环真空泵机组，不仅可充分发挥两种泵的优点，还可以保证系统的抗汽蚀能力，以及保障系统的真空度，实现良好的节能效果。同时，真空泵机组的系统投入少，维护简单，运行稳定性高，改造方案不仅适合于联合循环机组，也适用于各火电厂机组的真空系统改造，具有良好的经济效益和推广价值。