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罗茨真空机组中常用水环真空泵作为前级泵使用，作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空，对于一般情况而言，水环真空泵真空度不高，而我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高，因此实际上我们一般不用单级水环真空泵作为罗茨真空泵机组的前级泵，而是采用了压力较低的双级水环真空泵作为前级泵使用，这样还可以降低机组的压力。
三级罗茨真空泵机组
一台罗茨泵与一台水环真空泵的压力是267Pa，这可以满足一般的真空需求，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环真空泵组合，就可以大大提高罗茨真空泵机组的压力（可以达到25Pa）。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的压力，可以使用三台罗茨泵与水环真空泵组合，它的压力可以达到1Pa。
倘若三级罗茨泵水环真空泵机组还是不能满足压力的时候，我们可以采用螺杆真空泵并联罗茨真空泵。这个罗茨真空泵机组主要用于真空度要求非常高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。
罗茨水环真空泵机组用在真空干燥工艺
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