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螺杆真空泵工作原理实质上与凸轮泵相同，但转子是螺杆型的。它能输送黏度为数万厘泊的液体。无油螺杆真空泵主要是有两个旋转方向相反的转子位于泵体中，由一对同步齿轮传动，对于干式螺杆真空泵的转子，在泵体内是互相啮合的，但具有间隙。间隙大小主要取决于液体黏度。超过一定黏度范围时调整增加螺杆的间隙即可。
螺杆真空泵工作原理具有体积小、作业平稳、转速高、在较宽压力规模内有较大抽速、泵内无冲突和可取得清洗真空等特色。螺杆泵是真空体系中较为常见的粗低、中、高真空取得单元，可独自作业，也可作为其罗茨泵的前级泵、预抽泵运用，因而在冶金、石油化工、轻工造纸、电工电子以及食物等工业范畴得到了广泛运用。
螺杆真空泵工作原理使得螺杆泵可以达到很高的真空度，例如杭州非耀真空泵厂生产的无油螺杆真空泵，单台螺杆泵就能取代三级罗茨泵水环真空泵机组，相比之下，真空度更高，占地面积小，不需要循环水，减少了废水处理的问题。
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