清洗是将干式螺杆真空泵内残余气体和压缩蒸汽除去。这些残留可能会导致电机过载，使无油螺杆真空泵无法启动，也会导致摩擦力过大，或者损坏螺旋或泵体。所以，当泵中积聚了大量的不洁物质时，应将泵体清理干净。

LGB200无油螺杆真空泵用在化工减压蒸馏

蒸汽冲刷是清理残余压缩气体物质的一种方法。要保证螺杆真空泵在积累剩余压缩材料的同时，不会给电机造成过大的压力。特别是对低聚物、单体、聚合物、树脂等物质进行适当的冲刷与清洁，效果更佳。

清洗的目的是在无油螺杆真空泵运转之后，把粘滞物聚集在泵内。如不及时清洗与净化，将会增加泵运行后电机负载，电机电流增加，造成真空泵快速损坏。也有可能是由于腐蚀性气体积聚在泵中，造成泵过流涂层脱落，影响泵的运行。净化和清洗的物质有两种，一是惰性气体，如氮、氩等。一个是蒸气。

清洁与清洁的时机有两种，一是运行前、运行后、前后必不可少。在惰性气体或蒸汽中，压力不能超过或过低。过高会损坏骨架油封，过低则不能工作。将惰性气体或1千克/平方米压力的蒸气连接到阀门上。关掉进口阀，打开充气阀，打开这个阀门。发动真空泵，大约30分钟。时间取决于无油螺杆真空泵内的聚集物的多少。停下来，用手转动泵，是否平稳，若平稳，说明已经完成，否则重复2-3次。然后关闭充气阀，启动泵再运转20分钟，排空泵内液至排出出口无液体排放。关上阀门，开动泵，检查泵工作是否正常。此时也要打开冷却水，无油螺杆真空泵空运转，清洗净化过程结束后，需要对泵进行20-30分钟的空转，使泵内残留的物料全部排出，以免影响下一次正常工作。

除了上述方法外，对泵体的净化和清洗不应使用任何其他方法，否则会造成更大的后果。