罗茨真空泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。由于三级罗茨真空泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。

非耀罗茨真空泵

      当发现三级罗茨真空泵在运转中产生异常杂音后，应立即检查泵的启动压力是否符合规定值，可用电流表检查泵电机的输入电流是否合乎额定值，有无异常的高或低。还应检查泵内润滑油的情况及泵的安放位置是否合适。发现问题后，要立即采取相应的措施解决。

      三级罗茨真空泵工作时转子与转子，转子与泵体互相不接触，因此没有直接磨损，但由于间隙很小（一般0.10～0.25mm），经长期运转后传动齿轮磨损，当齿侧间隙大于转子间小间隙时，将产生相碰而发生故障，此时则应更换齿轮。

罗茨泵水环真空泵机组用在制药企业

      一般三级罗茨真空泵维修要一年至少进行一次，检查齿轮及轴承的磨损情况，检查密封装置，更换密封圈（环），检查转子腐蚀情况，转子结垢情况，泵体内表面腐蚀情况和结垢情况。清洗测量磨损超出规定尺寸时，应调整间隙或更换零件。非耀罗茨真空泵结构简单，运行稳定，使用长达20年之久，运行20000小时不出故障，可以配备水环真空泵、螺杆真空泵构成罗茨真空泵机组，满足更高真空度要求。