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干式螺杆真空泵采用双螺杆非接触结构，可以实现整体涂层或采用合金材质，本身对腐蚀性、颗粒性其他以及一些可凝气体等都具有一定的耐用性。同时配合自动清洗等功能可以很好的满足一些复杂工况的需求。但面对一些复杂介质较多的恶劣工况，额外的处理措施仍旧非常必要，否则无油螺杆真空泵容易出现抽气效率低、腐蚀、卡死等问题。
无油螺杆真空泵用在化工反应釜抽真空
首先是过滤器、分离、冷凝。在无油螺杆真空泵进气口前设置过滤器、分离器等前置处理设备，减少液体、颗粒等介质等大量进入无油螺杆真空泵的泵腔内。而冷凝措施可以减少可凝性气体的进入，同时可以大大降低真空泵的抽气负荷，提高抽气效率。
其次是在无油螺杆真空泵抽气过程中充入一定量的气体，充入的气体包括反应气体或一些惰性气体。像充入的惰性气体对于一些可凝性气体来说，可以降低其分压，防止凝结。对于一些腐蚀性气体或者具有黏性介质的恶劣工况来说，通入反应气体通过与腐蚀介质等反应改变其性状，可以改变整体抽气环境，从而减少介质对转子、泵腔的腐蚀、粘连。对于一些颗粒介质等，因为可能在无油螺杆真空泵中沉积积聚，从而在转子、泵腔的啮合过程中造成磨损、划痕，充入气体可以防止其在泵腔中沉积积聚。另外，对于一些高温介质，充入气体也可以改变高温状况。
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