螺杆真空泵在真空泵行业中是较好的产品,螺杆真空泵应用也是随处可见。螺杆真空泵的价格相对于其他的真空泵的价钱来说是较贵的,但是无油螺杆真空泵的工作效率高,且螺杆泵的功能较全。那么螺杆真空泵具体的功能特性以应用领域有哪些呢?
干式螺杆真空泵工作原理是利用一对互相咬合的螺杆转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果,螺杆式真空泵由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可螺杆真空泵应用于PECVD、Etching等严苛制程。
无油螺杆真空泵应用案例如真空冶炼、真空热处理、真空镀膜、电气产品、化工制药、真空模拟、电光源、硅晶体培植、除水除气、塑料制品、真空浸渍、真空冷冻干燥、制冷装置、食品加工及包装、汽车制造等行业。杭州非耀螺杆真空泵,稳定运行20000小时无故障,单泵可以替代三级罗茨水环真空机组,欢迎来电咨询。